具有交错安装图案之单一支撑结构探针群组

摘要

一探针群组可包括用于测试具有接触垫的元件之多重探针。探针可包含梁、接触梢端结构、及安装部分。梁可提供探针的受控制挠曲。接触梢端结构可连接至梁且可包括用以接触于元件之接触部分。梁的安装部分可附接至支撑结构,其可排列于一交错图案中。位于交错图案的第一列中之梁可包括窄化区,其实质地与梁的第二列之安装部分呈现直列状配置。