基材处理系统中之智慧元件为主之管理方法

摘要

所揭露者为一种基材处理系统中的元件管理之方法。此基材处理系统具有一组元件,此组元件中的至少多数个元件系指定为智慧元件,该等多数元件中的每个元件具有智慧元件增强(ICE)。此方法包括查询该等多数元件,以自其各自的ICE中,请求其各自的特有识别资料。此方法更包括若该等元件中的任一个元件回应查询,则接收来自该等元件的特有识别资料。此方法另外还包括当预期第一元件识别资料时,若该等元件中的第一元件无法提供第一元件特有识别资料,则标示第一元件需要修正动作。