| 摘要 |
Während ein flüsssiges Isoliermaterial (5b) auf einem konvexen Substrat aufgebracht ist und ein flüssiges Isoliermaterial (5a) auf einem konkaven Substrat aufgebracht ist, wird ein säulenförmiger Leitabschnitt (8) des konvexen Substrats in ein Loch (13) des konkaven Substrats eingeführt. Dabei werden ein Leitabschnitt (7) und eine interne Verbindung (4) elektrisch über einen Kontakthöcker (6) miteinander verbunden. Somit werden eine Halbleitervorrichtung mit einer Durchgangselektrode, die eine Größenverringerung ermöglicht, hohe Zuverlässigkeit aufweist und auch bei einem großen Seitenverhältnis leicht gebildet wird, sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung gewonnen. |
