| 发明名称 |
BEAM DEFLECTING APPARATUS WITH DEFLECTION COILS LOCATED WITHIN AN ELECTRON MICROSCOPE SPECIMEN CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3445652(A) |
申请公布日期 |
1969.05.20 |
| 申请号 |
USD3445652 |
申请日期 |
1966.09.20 |
| 申请人 |
NIPPON DENSHI KK. |
发明人 |
SHIGERU SUZUKI;YASUTAKA BABA |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/15;H01J37/18;H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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