| 发明名称 |
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3474245(A) |
申请公布日期 |
1969.10.21 |
| 申请号 |
USD3474245 |
申请日期 |
1966.06.21 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO:KK. |
发明人 |
HIROKAZU KIMURA;HIFUMI TAMURA;MICHIYOSHI MAKI;HISAYUKI HIGUCHI |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/28;H01J49/48;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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