用于惰性气体的阀系统

摘要

一种用于惰性气体的阀系统，包含：微量阀、两个高纯度气体绝缘阀、两个惰性气体钢瓶、两个衔接器、两个高压排气阀、两个高压绝缘阀、两个调节器、真空产生器、排气孔、两个测试阀、两个手动阀、两个供气开关、惰性气体出口，其特征在于测试阀可用于排出低压的惰性气体或用于连接一检测器来测量惰性气体是否不当漏出。本发明的优点在于以单一的测试阀来取代已知的低压排气阀及低压绝缘阀，不仅可以达到整个阀系统的零件数目降低，亦可减少操作上的困难度及操作时间。由于零件的精简可以进而降低制造成本及维护成本。此外，测试阀可以与一检测器连接而测量惰性气体在管路中是否不当漏出的情形发生。

主权项

1.一种用于惰性气体的阀系统，包含：一微量阀，允许高纯度气体可微量通过；两个高纯度气体绝缘阀，其一端均与所述微量阀相连并可控制高纯度气体的流入；两个惰性气体钢瓶，分别与所述两个高纯度气体绝缘阀中相对应的一个的另一端相连并用于供给惰性气体；两个衔接器，分别设置于所述惰性气体钢瓶与高纯度气体绝缘阀之间的连接通路中，用于衔接该惰性气体钢瓶至系统；两个高压排气阀，其一端分别与相应的一个所述高纯度气体绝缘阀和一个所述衔接器相连且这两个高压排气阀的另一端相互连接，所述高压排气阀可控制气体的流入或排出；两个高压绝缘阀，其一端分别与相应的一个所述衔接器、一个所述高纯度气体绝缘阀和一个所述高压排气阀相连并可控制气体的流入；两个调节器，其一端分别与相对应的一个所述高压绝缘阀的另一端相连并可将高压的惰性气体调整为低压的惰性气体；一真空产生器，其一端连接到所述两个高压排气阀之间的连接通路，可用于将系统中的管路抽成真空；一排气孔，与所述真空产生器的另一端相连并用于排出系统中的不必要的气体；两个测试阀，其一端分别连接到相对应的所述调节器的另一端并用于排出惰性气体或控制惰性气体的流量；两个手动阀，其一端分别连接到相对应的所述测试阀的另一端并用于紧急手动地关闭供气系统；两个供气开关，其一端分别连接到相对应的所述手动阀的另一端并可控制整个用于惰性气体的阀系统是由左侧或右侧来供气；及一惰性气体出口，与所述两个供气开关的另一端相连接，该测试阀可用于排出低压的惰性气体或用于连接一检测器来测量惰性气体是否不当漏出。