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发明名称 COMPOSITE PATTERNING WITH TRENCHES
摘要
申请公布号 KR100845347(B1) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 KR20067009519 申请日期 2006.05.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/00;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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