高效节能的真空设备

摘要

本实用新型公开了一种高效节能的真空设备，其包括真空室、真空室室盖、翻板阀门组件及精抽阀门组件，真空室室盖盖于所述真空室上，翻板阀门组件安装于所述真空室内，精抽阀门组件安装于所述真空室侧面上，其中真空室室盖的底壁有一部分下凸，底壁下凸的部分伸入到真空室内。这样，真空室室盖的底壁下凸的部分与真空室的底壁之间的距离大大减少，从而使真空室的容积大大减少，所以缩短了对真空室的抽气时间、节省了电能并提高生产率，另外由于真空室室盖是整体结构，维修调整翻板阀门组件时只需整个室盖吊开即可，人人可站到真空室里面操作，所以便于维修保养。

主权项

1一种高效节能的真空设备，包括真空室、真空室室盖、翻板阀门组件及精抽阀门组件，所述真空室室盖盖于所述真空室上，所述翻板阀门组件安装于所述真空室内，所述精抽阀门组件安装于所述真空室侧面上，其特征在于：所述真空室室盖的底壁有一部分下凸，所述底壁下凸的部分伸入到所述真空室内。