利用电浆处理基材的装置

摘要

本发明系针对利用电浆处理基材的装置。为增进电浆的特性，磁铁单元被设置以提供一磁场。一第一磁性单元被设置在外壳之侧面部份之间的上部区域，且一第二磁性单元被设置在一下方部份。每个磁铁单元包括复数个电磁铁，该等电磁铁由上方观看时为正多边形。配置一下方磁铁单元，以在其轴上由上方磁铁之配向位置旋转一预定角度。根据上述的构形，外壳内之电浆一致性系被增进，且特别地是，本发明可防止电浆一致性在邻接的电磁铁之间的区域降低。