发明名称 Particle-optical apparatus provided with lenses with permanent-magnetic material
摘要
申请公布号 EP1589561(B1) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP20050075892 申请日期 2005.04.15
申请人 FEI COMPANY 发明人 BUIJSSE, BART;BISSCHOPS, THEODORUS HUBERTUS JOSEPHUS;MEUWESE, MARK THEO
分类号 H01J37/143 主分类号 H01J37/143
代理机构 代理人
主权项
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