用于微影工具上的系统与方法

摘要

一种用于半导体制造之系统，包含一制程工具，一缓冲器，一输入负载埠，一输出负载埠，与一轨径模组。制程工具系用以处理晶圆；缓冲器与制程工具相连接，系用以容纳等待制程工具所处理之晶圆；输入负载埠与缓冲器相连接，系用以将待处理的晶圆由载入容器送入晶圆；输出负载埠与该制程工具相连接，系用以将制程工具处理完成的晶圆送到一载出容器；轨径模组系用以运送晶圆在缓冲器、制程工具与输入与输出负载埠之间。本发明亦揭露一种用于半导体制造之方法。