| 发明名称 | 直拉式单晶生长炉 | ||
| 摘要 | 为减少直拉式单晶生长炉的氩气消耗的技术问题，本发明提供了一种直拉式单晶生长炉，其包括：氩气输入管、与氩气输入管相连通的环形气体分布器；其特征在于：经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×10<SUP>3</SUP>Pa至0.9×10<SUP>3</SUP>Pa，氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置；其包括：中轴孔、一对电极孔、以及与排气口相对的通气孔；石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。 | ||
| 申请公布号 | CN101319352A | 申请公布日期 | 2008.12.10 |
| 申请号 | CN200810122724.8 | 申请日期 | 2008.06.26 |
| 申请人 | 常州中弘光伏有限公司 | 发明人 | 冉茂华 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01);C30B27/02(2006.01) | 主分类号 | C30B15/00(2006.01) |
| 代理机构 | 常州市江海阳光专利代理有限责任公司 | 代理人 | 林倩 |
| 主权项 | 1、一种直拉式单晶生长炉，包括：设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12)、与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)；其特征在于：经氩气输入管(12)输入的氩气气压为0.8×103Pa至0.9×103Pa，氩气流量为30L/min。 | ||
| 地址 | 213000江苏省常州市武进区高新技术产业开发区南区 | ||