物理气相沉积系统

摘要

本发明是有关一种物理气相沉积系统，包括一沉积反应室、一磁石、一行星齿轮组、一第一驱动装置、一驱动齿轮以及一第二驱动装置。磁石设置于沉积反应室之上。行星齿轮组具有一环形齿圈、一第一齿轮、一第二齿轮及一平衡齿轮。环形齿圈围绕第一齿轮、第二齿轮及平衡齿轮，并具有一内齿面及一外齿面。环形齿圈的旋转中心轴与第一齿轮的旋转中心轴重合。第二齿轮及平衡齿轮啮合于内齿面与第一齿轮之间。第二齿轮的旋转中心轴是重合并连接于磁石的旋转中心轴。第一驱动装置连接于第一齿轮的旋转中心轴，驱动齿轮啮合于外齿面。第二驱动装置连接于驱动齿轮。本发明藉由均匀的磁场分布可以提升等离子体轰击的均匀度，而能够有效的提升靶材利用率。

主权项

1、一种物理气相沉积系统，其特征在于其包括：一沉积反应室；一磁石，是以转动及移动的方式设置于该沉积反应室之上；一行星齿轮组，具有一环形齿圈、一第一齿轮、一第二齿轮及一平衡齿轮，其中，该环形齿圈是围绕该第一齿轮、该第二齿轮及该平衡齿轮，并且具有一内齿部及一外齿部，该环形齿圈的旋转中心轴是与该第一齿轮的旋转中心轴重合，该第二齿轮及该平衡齿轮是分别啮合于该内齿部与该第一齿轮之间，以及该第二齿轮的旋转中心轴是重合并连接于该磁石的旋转中心轴；一第一驱动装置，连接于该第一齿轮的旋转中心轴，是用以驱使该第一齿轮旋转；一驱动齿轮，啮合于该环形齿圈的该外齿部，是用以驱使该环形齿圈旋转；以及一第二驱动装置，连接于该驱动齿轮，是用以驱使该驱动齿轮旋转。