METHOD AND APPARATUS FOR THE SURFACE MODIFICATION OF FLAT SUBSTRATES

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Beschichten von Substraten im Rahmen der Herstellung von Dünnschicht- Solarzellen oder -modulen aus Glas, Metall oder Kunststoff mit metallischen Verbindungen wie beispielsweise Cadmiumsulf id oder Zinksulfid unter Verwendung einer in einem Behandlungsbecken (3) befindlichen Flüsssigkeit (F), deren chemische Bestandteile durch geeignete Termperatursteuerung auf der Substratfläche unter Ausbildung einer dauerhaften Schicht abscheidbar sind, bei dem die zur Ausbildung der gewünschten Schicht notwendige Erwärmung der zu beschichtende Substratunterseite durch ein geeignetes Mittel zur Erwärmung (11) erfolgt, welches in der Lage ist, das Substrat (2) auf die erforderliche Temperatur zu erwärmen, ohne dass die nicht zu behandelnde Oberseite während der Behandlung mit einer wärmenden Flüssigkeit benetzt wird und ohne dass das Substrat (2) von oben gehalten oder geschützt wird.