半导体集成电路

摘要

本发明提供一种对内部电路提供适当电源电压的半导体集成电路。作为解决手段，半导体集成电路(10)在本电路(10)的芯片上的多个位置配置工序监视电路(16～24)，检测各配置处的监视数据，电源电压提供电路(14)生成与这些监视数据对应的电源电压(102)，将该电源电压(102)提供给本电路(10)的内部电路组(12)，由此，在芯片间因制造工序的好坏和芯片内温度不同而产生芯片间偏差的情况下，针对每个芯片提供适当电源电压，并且，即使在产生芯片内偏差的情况下，也能够对芯片内的各个位置提供适当电源电压而不增大芯片面积。

主权项

1.一种半导体集成电路，包括对一个以上的内部电路提供电源电压的电源电压提供单元，其特征在于，该半导体集成电路具有：多个工序监视单元，其被配置在该半导体集成电路上的多个位置处，根据上述电源电压进行动作，检测与各个配置相关的监视数据，上述电源电压提供单元生成与多个上述监视数据对应的上述电源电压，提供给上述内部电路。