流量测量装置及其制造方法

摘要

本发明提出一种测量装置，其用以测量一流体的流量，该测量装置包括一基座、一流道以及至少两个电子电路，其中该流道设于该基座上，该流体在该流道中流动，该流道具有至少两个截面；以及所述至少两个电子电路分别与所述至少两个截面电性连接，所述至少两个电子电路检测对应的所述至少两个截面的信号变化，再根据所检测的信号变化来计算该流体的该流量。这种测量装置利用一微电子机械系统制程制备。

主权项

1.一种测量装置，用以测量一流体的流量，该测量装置包括：一基座；一流道，设于该基座上，该流体在该流道中流动，该流道具有至少两个截面；以及至少两个电子电路，其分别与所述至少两个截面电性连接，所述至少两个电子电路检测对应的所述至少两个截面的信号变化，再根据所检测的信号变化来计算该流体的该流量；其中所述至少两个电子电路为至少两对电极，所述至少两对电极布置于该流道的两侧；其中所述至少两对电极中的一对电极包括两个金属片，所述两个金属片分别布置于该流道的两侧，接近但不相接。