| 摘要 |
一种共轭焦影像回馈式雷射雕刻系统及方法，系为利用一成像光学元件所形成之共轭焦影像平面的特性来进行高准确度之同步的对位与校正，该雷射雕刻系统包括：一雷射光束产生装置、一第一双色分光镜、一雷射雕刻装置、一共轭焦影像回馈校正装置以及一微电脑。雷射光束产生装置发出一同轴雷射光束，并经由第一双色分光镜在同一时间做双向反射，一边反射到雷射雕刻装置，另一边则反射到共轭焦影像回馈校正装置，而共轭焦影像回馈校正装置系以共轭焦点扫描的方式对工件成像，再利用微电脑做该工件成像的影像校正处理，该成像的平面亦同时为雷射雕刻作用的共轭平面，故可使其达到完全同步之对位与校正。 |
