| 摘要 |
本发明有关一种工件处理装置(S)，包括：电浆发生装置(6)，具有将提供的规定气体电浆化的电浆发生部(18)，并从上述电浆发生部(18)放出电浆化的气体；输送装置(2)，在上述电浆发生部(18)的下方支撑作为处理物件的工件(W)；通过对上述工件(W)照射电浆化的气体，执行规定的处理；上述工件处理装置(S)还包括安装框(4)，用于安装上述电浆发生装置(6)，以使上述电浆发生部(18)位于工件(W)上方。而且，上述电浆发生装置(6)相对于上述安装框(4)安装成可以从使上述电浆发生部(18)配置在工件(W)上方的安装位置沿水平方向拉出。 |
