发明名称
摘要
申请公布号 JP2008543082(A) 申请公布日期 2008.11.27
申请号 JP20080514688 申请日期 2006.05.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/417;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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