热处理装置

摘要

本发明提供一种热处理装置，可以使热处理时从被热处理物产生的升华物难以通过气体导出孔流出。热处理装置包括装置主体，装置主体具有：热处理室，收容被热处理物，该被热处理物可以从热处理室中取出；以及加热室，与热处理室联通，其中，在加热室内，对通过设置在加热室的气体导入孔导入到加热室内的热处理用气体进行加热，以对被热处理物进行热处理，并通过设置在热处理室的气体导出孔，将热处理完毕的气体从热处理室导出。这种热处理装置设置有触媒，堵塞气体导出孔的入口，触媒可以分解热处理完毕的气体中包含的从被热处理物产生的升华物。

主权项

1.一种热处理装置，包括装置主体，该装置主体具有：热处理室，收容被热处理物，该被热处理物可以从该热处理室中取出；以及加热室，与所述热处理室联通，其中，在所述加热室内，对通过设置在所述加热室的气体导入孔导入到所述加热室内的热处理用气体进行加热，以对所述被热处理物进行热处理，并通过设置在所述热处理室的气体导出孔，将热处理完毕的气体从所述热处理室导出，所述热处理装置的特征在于，设置有触媒，堵塞所述气体导出孔的入口，该触媒可以分解所述热处理完毕的气体中所包含的从所述被热处理物产生的升华物。