大气压等离子体组件

摘要

一种大气压等离子体发生组件(100)含有一个机身，包括一个反应剂引入装置，一个处理气体引入装置，和适合等离子体生成的一个或多个并列电极排列。每个电极排列包括至少一个部分电介质镀层的电极(3，4)，所述装置适合于使得一种处理气体和雾化液体或引入所述装置中的固态反应剂的排放的唯一方法是通过前述的电极(3，4)的等离子体区域(6)。该装置适合于相对一个衬底(1)移动，基本上靠近前述的电极最外面的端点(23)。该装置还可以包括一个包围等离子体生成装置的抽取单元，包括一个抽取机身(8)，适合于将装置与外部大气隔离以及提供一个去除废处理气体、反应剂和副产物的方法。

主权项

1.一种大气压等离子体产生组件，含有一个带有机身的大气压等离子体产生单元，所述机身包括反应剂引入装置，一个处理气体引入装置，和用于生成等离子体的一个或多个多并列电极排列，每个多并列电极排列包括部分地被电介质镀层的至少一个电极，使得引入所述组件中的处理气体和反应剂从所述组件的唯一出口通过前述电极之间的等离子体区域，所述组件相对一个衬底可移动，所述衬底靠近从机身突出的前述电极的离所述单元最远的端点，其特征在于反应剂引入装置是一个雾化器，用于雾化和引入液体和/或固体反应剂以形成涂层。