发明名称 可变形反射镜
摘要 本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。可变形反射镜,它包括驱动电极和硅膜,硅膜(6)为镜面,其特征在于:驱动电极(7)位于硅膜(6)的下方,驱动电极(7)与硅膜(6)之间的间距为35-45μm;硅膜(6)的上方设有透明电极(5),透明电极(5)与硅膜(6)之间的间距为65-75μm;硅膜(6)的边缘与镜面支架(8)相固定,透明电极(5)的边缘与镜面支架(8)相粘接,驱动电极(7)由支撑柱(9)与镜面支架(8)相粘接。本发明采用硅膜(6)的上方设有透明电极(5),它能驱使硅膜(6)产生靠近或远离驱动电极的两种形变,从而能更好的控制镜膜的形变,极大地提高校正波前的能力。
申请公布号 CN100434963C 申请公布日期 2008.11.19
申请号 CN200610018567.7 申请日期 2006.03.16
申请人 中国地质大学(武汉) 发明人 向东;程永进;谭季麓;李铁平;王青玲;王稀成
分类号 G02B26/08(2006.01) 主分类号 G02B26/08(2006.01)
代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 代理人 唐万荣
主权项 1.可变形反射镜,它包括驱动电极和硅膜,硅膜(6)为镜面,其特征在于:驱动电极(7)位于硅膜(6)的下方,驱动电极(7)与硅膜(6)之间的间距为35-45μm;硅膜(6)的上方设有透明电极(5),透明电极(5)与硅膜(6)之间的间距为65-75μm;硅膜(6)的边缘与镜面支架(8)相固定,透明电极(5)的边缘与镜面支架(8)相粘接,驱动电极(7)由支撑柱(9)与镜面支架(8)相粘接。
地址 430074湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号
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