压印及／或压纹基板之装置

摘要

本发明系关于一种用于压印及/或压纹特定而言为半导体基板或晶圆之基板(7)之装置，其具有：﹣一接收单元(5)，其用于将该基板(7)接收于一工作空间(13)中；﹣一调整器件(2、3、4)，其用于相对于一压纹及/或印刷冲头(10)来调整该基板(7)；藉此为了尽可能无污染且尽可能有利于装置制造的制程，该接收单元(5)系经设计以使该工作空间(13)与环境隔离。