| 发明名称 | 一种纳米TiO<SUB>2</SUB>－M薄膜紫外光传感器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种纳米TiO<SUB>2</SUB>-M薄膜紫外光传感器及其制备方法属于光电子技术领域。由以TiO<SUB>2</SUB>薄膜为紫外光吸光层的紫外光检测器(10)、及相应的偏置电压电路(11)、电流转换电路(12)、信号处理电路(13)构成。其特点是紫外光检测器(10)为宽带隙纳米TiO<SUB>2</SUB>薄膜传感器，它只对波长短于380nm的紫外光具有高灵敏度的响应输出，而对红外和可见光没有任何响应，防止除紫外光以外的其它光源的干扰。 | ||
| 申请公布号 | CN100433373C | 申请公布日期 | 2008.11.12 |
| 申请号 | CN200510136798.3 | 申请日期 | 2005.12.28 |
| 申请人 | 大连海事大学 | 发明人 | 曹望和;付姚 |
| 分类号 | H01L31/09(2006.01);H01L31/18(2006.01);G01J1/02(2006.01) | 主分类号 | H01L31/09(2006.01) |
| 代理机构 | 大连八方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 卫茂才 |
| 主权项 | 1.一种纳米TiO2-M薄膜紫外光传感器，其特征在于，由紫外光检测器(10)、偏置电压电路(11)、电流转换电路(12)和信号处理电路(13)依次连接构成，紫外光检测器(10)中的纳米TiO2薄膜光敏电极(5)和参比电极(6)连接到偏置电压电路(11)，光敏电极(5)和对电极(7)连接到电流转换电路(12)，电流转换电路(12)输出的电压信号连接到信号处理电路(13)；其紫外光检测器(10)的构成为：纳米TiO2 薄膜光敏电极(5)、参比电极(6)和对电极(7)依次设置在盛有电解液(9)的石英电解池(4)内，三个电极极面保持并行，且彼此间距0.5-1.0cm，光敏电极(5)的纳米TiO2薄膜(3)膜面朝向石英电解池(4)外侧；三个电极由导线(8)连接并经密封材料密封后引出电解池(4)，电解池(4)用密封材料密封；其紫外光检测器(10)的光敏电极(5)由基底(1)、涂于基底(1)上的导电膜(2)、涂于导电膜(2)上的纳米TiO2薄膜(3)三部分构成。 | ||
| 地址 | 116026辽宁省大连市凌海路1号 | ||