| 发明名称 | 高效铝合金靶组件 | ||
| 摘要 | 本实用新型是一种高效铝合金靶组件，包括内套管(1)，在该管外紧套有铝合金靶(2)，其特征在于：在所述内套管(1)外表面上设有过渡层(1a)，该过渡层(1a)是维氏硬度HV≤20的铅锡合金或铅铟合金，所述内套管(1)与铝合金靶(2)的装配过盈量为0.08～0.15mm。本实用新型装配容易，能够在长期使用中保持靶与内套管的紧密接触，实现良好的导电、导热功能；铝合金靶为同种材料靶，能得到组分均匀的溅射膜层。 | ||
| 申请公布号 | CN201144279Y | 申请公布日期 | 2008.11.05 |
| 申请号 | CN200720188663.6 | 申请日期 | 2007.12.27 |
| 申请人 | 重庆跃进机械厂有限公司 | 发明人 | 张先智;吴文俊;刘太贵;张永红 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01) | 主分类号 | C23C14/35(2006.01) |
| 代理机构 | 重庆市前沿专利事务所 | 代理人 | 郭云 |
| 主权项 | 1、一种高效铝合金靶组件，包括内套管(1)，在该管外紧套有铝合金靶(2)，其特征在于：在所述内套管(1)外表面上设有过渡层(1a)，该过渡层(1a)是维氏硬度HV≤20的铅锡合金或铅铟合金，所述内套管(1)与铝合金靶(2)的装配过盈量为0.08～0.15mm。 | ||
| 地址 | 402160重庆市永川区化工路1号 | ||