发明名称 涂覆模头和涂覆设备
摘要 一种能够通过从细槽(12a)喷射涂覆液体对衬底表面进行涂覆、同时相对于基本材料(1)相对运动的涂覆模头,包括凸缘部分(12b)和尖端侧表面(12c),其中尖端侧表面(12c)相对于涂覆液体的接触角度形成大于凸缘部分(12b)相对于涂覆液体的接触角度,由此由于在涂覆时稳定涂覆液体的冲击,防止在涂覆液体中出现条带和台阶形不均匀性,可以进行制造液晶显示器的滤色器所需的高精度涂覆操作。
申请公布号 CN100430151C 申请公布日期 2008.11.05
申请号 CN03817126.0 申请日期 2003.07.18
申请人 大日本印刷株式会社 发明人 津田武明;吉羽洋;青木孝
分类号 B05C5/02(2006.01) 主分类号 B05C5/02(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 温大鹏
主权项 1.一种具有喷射将要施加在衬底上的涂覆液体的细槽的涂覆模头,包括:位于涂覆模头的终端部段上并具有从细槽延伸的凸缘表面的凸缘;位于终端部段上并具有相对于凸缘表面倾斜的侧表面的侧部;其中侧表面和凸缘表面构造成使得侧表面相对于涂覆液体的接触角度大于凸缘表面相对于凸缘液体的接触角度;边界线设置在凸缘表面和侧表面之间,并且边界线相对于细槽具有小于或等于5μm/m的直线度和平行度;其中在边界线附近,接触角度边界线设置在其相对于涂覆液体的接触角度相互不同的相邻表面区域之间;以及接触角度边界线和边界线之间的偏差小于或等于5μm。
地址 日本东京都