发明名称 薄膜电晶体基板及其制造方法
摘要 本发明提供一种薄膜电晶体基板,其包括:一玻璃基板;一形成于该玻璃基板上之半导体层图案,其包括一重掺杂多晶矽图案及一轻掺杂多晶矽图案;一形成于该半导体层图案上之第一闸极绝缘层;一形成于该第一闸极绝缘层上之闸极及公共电容电极,且该闸极及该公共电容电极对应该轻掺杂多晶矽图案。该薄膜电晶体基板制程简单。
申请公布号 TW200843115 申请公布日期 2008.11.01
申请号 TW096113955 申请日期 2007.04.20
申请人 群创光电股份有限公司 发明人 叶冠华;吴宏基;黄荣龙
分类号 H01L29/786(2006.01) 主分类号 H01L29/786(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 苗栗县竹南镇新竹科学园区科学路160号