发明名称 | 薄膜电晶体基板及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种薄膜电晶体基板,其包括:一玻璃基板;一形成于该玻璃基板上之半导体层图案,其包括一重掺杂多晶矽图案及一轻掺杂多晶矽图案;一形成于该半导体层图案上之第一闸极绝缘层;一形成于该第一闸极绝缘层上之闸极及公共电容电极,且该闸极及该公共电容电极对应该轻掺杂多晶矽图案。该薄膜电晶体基板制程简单。 | ||
申请公布号 | TW200843115 | 申请公布日期 | 2008.11.01 |
申请号 | TW096113955 | 申请日期 | 2007.04.20 |
申请人 | 群创光电股份有限公司 | 发明人 | 叶冠华;吴宏基;黄荣龙 |
分类号 | H01L29/786(2006.01) | 主分类号 | H01L29/786(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 苗栗县竹南镇新竹科学园区科学路160号 |