探针检查装置、位置偏移修正方法、资讯处理装置、资讯处理方法及记录媒体

摘要

本发明系即使在探针多次接触一个电极焊垫之情形时，藉由适当修正探针的接触位置之位置偏移，亦始终最佳保持探针的接触位置。探针检查装置100藉由CCD摄像机6拍摄探针8a对晶片30之各焊垫40之接触前图像51和接触后图像52，藉由图像处理用PC10抽出两图像之差分图像53，依每个焊垫40计算该差分图像53中最新针迹41b之位置与目标位置之位置偏移量，由该各位置偏移量计算作为探针卡8全体之修正量，使该修正量反映在下一个检查对象晶片30之各焊垫40之检查中，而进行位置偏移修正。