发明名称 记忆体结构及其制造方法
摘要 一种记忆体结构,包括基底、第一介电层、第一导体层、第二导体层、第二介电层、间隙壁及掺杂区。基底中具有沟渠。第一介电层配置于沟渠表面上。第一导体层配置于沟渠下部的第一介电层上。第二导体层配置于第一导体层上并填满沟渠。第二介电层配置于第一导体层与第二导体层之间。间隙壁配置于第一介电层与第二导体层之间。掺杂区配置于沟渠侧边的基底中。
申请公布号 TW200843091 申请公布日期 2008.11.01
申请号 TW096115032 申请日期 2007.04.27
申请人 南亚科技股份有限公司 发明人 萧清南;庄英政;黄仲麟;丘世仰
分类号 H01L27/115(2006.01);H01L21/8247(2006.01) 主分类号 H01L27/115(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号
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