发明名称 | 记忆体结构及其制造方法 | ||
摘要 | 一种记忆体结构,包括基底、第一介电层、第一导体层、第二导体层、第二介电层、间隙壁及掺杂区。基底中具有沟渠。第一介电层配置于沟渠表面上。第一导体层配置于沟渠下部的第一介电层上。第二导体层配置于第一导体层上并填满沟渠。第二介电层配置于第一导体层与第二导体层之间。间隙壁配置于第一介电层与第二导体层之间。掺杂区配置于沟渠侧边的基底中。 | ||
申请公布号 | TW200843091 | 申请公布日期 | 2008.11.01 |
申请号 | TW096115032 | 申请日期 | 2007.04.27 |
申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 萧清南;庄英政;黄仲麟;丘世仰 |
分类号 | H01L27/115(2006.01);H01L21/8247(2006.01) | 主分类号 | H01L27/115(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 |