发明名称 井区的制造方法
摘要 一种井区的制造方法,包括下列步骤。首先,提供基底,且基底中已形成有隔离结构。接着,于基底上形成牺牲层,且牺牲层的材料与隔离结构的材料不同。然后,于基底中形成掺杂区。接下来,移除牺牲层。
申请公布号 TW200843027 申请公布日期 2008.11.01
申请号 TW096115027 申请日期 2007.04.27
申请人 南亚科技股份有限公司 发明人 吴铁将;锺其龙;王建中
分类号 H01L21/762(2006.01) 主分类号 H01L21/762(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号