发明名称 | 井区的制造方法 | ||
摘要 | 一种井区的制造方法,包括下列步骤。首先,提供基底,且基底中已形成有隔离结构。接着,于基底上形成牺牲层,且牺牲层的材料与隔离结构的材料不同。然后,于基底中形成掺杂区。接下来,移除牺牲层。 | ||
申请公布号 | TW200843027 | 申请公布日期 | 2008.11.01 |
申请号 | TW096115027 | 申请日期 | 2007.04.27 |
申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 吴铁将;锺其龙;王建中 |
分类号 | H01L21/762(2006.01) | 主分类号 | H01L21/762(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 |