发明名称 |
一种探针卡固定框架 |
摘要 |
本实用新型提供了一种探针卡固定框架,以解决目前的探针卡固定框架上的保护环容易丢失的问题。该探针卡固定框架包括探针卡承载架,用于固定保护环的卡槽和保护环,卡槽开在探针卡承载架的内侧,保护环的直径大于探针卡承载架的直径,保护环的边缘部分插入探针卡承载架内侧开的卡槽内。保护环的宽度大于开的卡槽的深度,卡槽的高度刚好容纳一保护环的厚度,这样保护环的一部分宽度用于插入卡槽来固定保护环,卡槽外的保护环的宽度部分用于和探针卡无探针卡的边缘部分接触,这样的探针卡固定框架既可实现原来保护环测试时的作用,又可实现保护环的固定,避免保护环的丢失。 |
申请公布号 |
CN201141873Y |
申请公布日期 |
2008.10.29 |
申请号 |
CN200820054511.1 |
申请日期 |
2008.01.07 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
何莲群 |
分类号 |
G01R1/02(2006.01);G01R1/073(2006.01) |
主分类号 |
G01R1/02(2006.01) |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
1、一种探针卡固定框架,所述探针卡固定框架是用于承载和固定具有若干探针的探针卡的固定框架,其特征在于,所述探针卡固定框架包括探针卡承载架,用于固定保护环的卡槽和保护环,所述卡槽开在探针卡承载架的内侧,所述保护环的直径大于所述探针卡承载架的直径,所述保护环的边缘部分插入所述探针卡承载架内侧开的卡槽内。 |
地址 |
201203上海市张江路18号 |