高精细度腔表面等离子体共振传感装置

摘要

本发明涉及一种高精细度腔表面等离子体共振传感装置。现有传感装置探测灵敏度低。本发明高精细度腔表面等离子体共振传感装置激光光源、表面等离子体传感器、光电探测器。表面等离子体传感器为等腰三棱镜，底面镀有平面的金属反射膜，腰面分别镀有球面结构的入射高反射膜和出射高反射膜。斜边面为光束入射面和光束出射面，底边面为传感平面，光束入射面和光束出射面为光束高反射率面，构成高精细度腔，探测器探测光束出棱镜的光强，是经过多次表面等离子体共振效应后光束。本发明具有高检测灵敏度高，模块化程度高、系统简单等特点。

主权项

1、高精细度腔表面等离子体共振传感装置，包括激光光源、表面等离子体传感器、光电探测器，其特征在于：表面等离子体传感器为柱形棱镜，其横截面为等腰三角形，表面等离子体传感器的底面镀有平面的金属反射膜，腰面分别镀有入射高反射膜和出射高反射膜；入射高反射膜和出射高反射膜为球面结构；激光光源设置在入射高反射膜一侧，其发射光路沿入射高反射膜的球面的径向指向球心，激光光源与入射高反射膜之间沿激光光源的发射光路依次设置有光隔离器和起偏器；出射高反射膜一侧沿出射光路依次设置有检偏器和光电传感，所述的出射光路沿出射高反射膜的球面的径向指向球心；入射高反射膜的球面球心、出射高反射膜的球面球心和金属反射膜的全反射点构成的平面柱形棱镜的轴向垂直，并且满足$0<(1-\frac{R_1}{L})\times (1-\frac{R_2}{L})<4其中，R1为入射高反射膜的球面的曲率半径，R2为出射高反射膜的球面的曲率半径，L光束由入射高反射膜经金属反射膜传播到出射高反射膜所经过的距离。$