发明名称 |
具有薄膜障壁层之可弯曲基板 |
摘要 |
本发明揭示出涂覆无机障壁层至至少部份可弯曲基板上之方法以及装置,障壁层由低液相线温度(LLT)材料所构成;以及烧结无机障壁层同时维持可弯曲基板低于临界温度。 |
申请公布号 |
TW200841500 |
申请公布日期 |
2008.10.16 |
申请号 |
TW096145305 |
申请日期 |
2007.11.28 |
申请人 |
康宁公司 |
发明人 |
布思卡迪艾肯;答纳克雷布班德;希马叔甘纳;马克安奎萨达 |
分类号 |
H01L51/52(2006.01);H01L21/314(2006.01) |
主分类号 |
H01L51/52(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
吴洛杰 |
主权项 |
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地址 |
美国 |