| 发明名称 |
RADIANT RAY SENSITIVE MATERIAL HAVING POSITIVE OPERATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5499621(A) |
申请公布日期 |
1979.08.06 |
| 申请号 |
JP19780155027 |
申请日期 |
1978.12.18 |
| 申请人 |
LICENTIA GMBH |
发明人 |
YURUGEN HERUZENERU;ARUFUREETO BUIRUHERUMU |
| 分类号 |
C08F20/00;C08F20/02;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F20/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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