发明名称 Kontinuierliches Verfahren zur Behandlung verbrauchter Säuren und Säuregemische aus der Halbleiterherstellung
摘要
申请公布号 DE102006053507(B4) 申请公布日期 2008.10.02
申请号 DE200610053507 申请日期 2006.11.14
申请人 MALHIS, SOUHEIL 发明人 MALHIS, SOUHEIL
分类号 C02F1/66;C02F1/52 主分类号 C02F1/66
代理机构 代理人
主权项
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