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发明名称
CLEAN ROOM SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH02293554(A)
申请公布日期
1990.12.04
申请号
JP19890115810
申请日期
1989.05.09
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
SUWA NOBUYUKI;KAZUMI HIDEKI;SAWADA TOMOYUKI;FUJISE SHIGEMI
分类号
F24F7/007;F24F7/06
主分类号
F24F7/007
代理机构
代理人
主权项
地址
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