晶片自动定位控制装置及其控制方法

摘要

一种晶片自动定位控制装置及其控制方法。装置包括：由主轴旋转单元，伺服电机驱动器、晶片位置检测器、误差形成器；其主轴旋转单元中承片台安装在伺服电机轴的上端，承片台中心孔与伺服电机的中空轴相通，伺服电机下端是编码器并与真空系统相连，晶片真空吸附于承片台上；晶片位置检测器安装在旋转晶片边沿，其输出晶片位置检测电信号及位置给定信号为误差形成器的输入信号，误差形成器输出的位置误差值送至伺服电机驱动器；编码器的脉冲信号及伺服电机旋转角位移量反馈到误差形成器及晶片位置检测器。它解决了晶片规整过程在两种工艺交接处由人工操作导致效率较低、增加污染和晶片易打碎、成本高的不足，能同时把晶片的定位缺口或边规整好。

主权项

1. 一种晶片自动定位控制装置，其特征在于包括：由晶片、承片台、伺服电机、编码器构成的主轴旋转单元，伺服电机驱动器、晶片位置检测器、误差形成器；其中主轴旋转单元中承片台安装在伺服电机轴的上端，承片台中心孔与伺服电机的中空轴相通，伺服电机的下端是与伺服电机驱动器电连接的编码器；伺服电机轴的下端口与真空系统相连，晶片吸附于承片台上；晶片位置检测器安装在旋转晶片的边沿；晶片位置检测器输出的晶片位置检测电信号作为误差形成器的一个输入信号，位置给定信号为误差形成器的另一个输入信号，误差形成器输出端的位置误差值接至伺服电机驱动器；编码器产生的作为测量系统基准的脉冲信号及伺服电机旋转角位移量反馈到误差形成器及晶片位置检测器。