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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06330320(A) 申请公布日期 1994.11.29
申请号 JP19930119741 申请日期 1993.05.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHIZAWA YASUHIRO
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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