| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для выполнения нанотехнологических операций.</p>
<p>В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить более высокую точность нанотехнологической операции из-за дрейфовых явлений в области проведения процессов.</p>
<p>Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для выполнения нанотехнологических операций, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом, подложкодержатель с подложкой электрически связанной с зондом, согласно предложенной полезной модели, снабжено устройством подачи жидкого азота, зонд в предложенном устройстве выполнен в виде тепловой трубки, герметично установленной в соединительном элементе таким образом, что ее тупой торец связан с устройством подачи жидкого азота, а соединительный элемент, герметично и жестко связан с пьезоприводом.</p>
<p>Применение предлагаемого технического решения устройства для выполнения нанотехнологических операций позволяет повысить точность проведения нанотехнологических операций за счет снижения дрейфовых явлений в области проведения процессов.</p> |
