| 发明名称 | 产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备 | ||
| 摘要 | 一种通过电气操纵放电而产生极紫外辐射(EUV)或软X射线辐射的方法，其尤其用于EUV光刻或度量，其中在放电空间(12)内的至少两个电极(14、16)之间的气体介质内点燃等离子体(22)，所述等离子体发射待产生的所述辐射。从金属熔融物质(24)产生该气体介质，该金属熔融物质被涂敷到所述放电空间(12)内的表面，且该金属熔融物质至少部分地被能量束、特别是激光束(20)蒸发。 | ||
| 申请公布号 | CN100420352C | 申请公布日期 | 2008.09.17 |
| 申请号 | CN200480026283.1 | 申请日期 | 2004.09.01 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会 | 发明人 | J·约恩克尔斯;D·M·沃德雷范格;W·内夫 |
| 分类号 | H05G2/00(2006.01) | 主分类号 | H05G2/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张雪梅;梁永 |
| 主权项 | 1. 一种通过电气操纵的放电而产生极紫外辐射(EUV)或软X射线辐射的方法，其中在放电空间(12)内的至少两个电极(14、16)之间的气体介质内点燃等离子体(22)，所述等离子体发射待产生的所述辐射，其中从金属熔融物质(24)产生所述气体介质，该金属熔融物质被涂敷到所述放电空间(12)内的表面，并通过能量束(20)至少部分地被蒸发。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||