| 发明名称 | 在光掩模上自动安装薄膜组件的系统和方法 | ||
| 摘要 | 公开了一种用于在光掩模上自动安装薄膜组件的系统和方法。该方法包括将光掩模装载到安装设备中，以及将薄膜组件装载到与该光掩模相对的安装设备的背板中。该背板包括至少一个测压元件，其测量由安装设备施加到光掩模和薄膜组件上的力。接收到与至少一个测压元件相关的所测量的力，并且如果所测量的力大于或近似等于最小力，则将薄膜组件安装在光掩模上以建立光掩模组件。 | ||
| 申请公布号 | CN101268349A | 申请公布日期 | 2008.09.17 |
| 申请号 | CN200480029171.1 | 申请日期 | 2004.10.05 |
| 申请人 | 凸版光掩膜公司 | 发明人 | E·M·弗赖;K·L·格里芬;B·A·维尔斯;P·A·亨德里克森;J·M·舍普勒 |
| 分类号 | G01L1/22(2006.01);B30B1/00(2006.01);G03B27/62(2006.01);G03B27/42(2006.01) | 主分类号 | G01L1/22(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 顾珊;梁永 |
| 主权项 | 1. 一种用于在光掩模上安装薄膜组件的方法，包括：将光掩模装载到安装设备中；将薄膜组件装载到与该光掩模相对的安装设备的背板中，该背板包括至少一个测压元件，可操作用以测量由安装设备施加到光掩模和薄膜组件上的力；接收与该至少一个测压元件相关的所测量的力；以及如果所测量的力大于或近似等于最小力，则将薄膜组件安装在光掩模上以建立光掩模组件。 | ||
| 地址 | 美国得克萨斯州 | ||