显像液的浓度调节方法及调节装置以及显像液

摘要

本发明在于提供，可将使用于光阻剂的显像装置之硷性的显像液的硷浓度调整成可进行高品质的显像处理之显像液的浓度调节方法及调制装置。在显像液的浓度调节方法，测定显像液的硷浓度及显像液中的碳酸盐浓度，根据可发挥进行显像处理所获得的CD值成为一定的值之溶解能的硷浓度与碳酸盐浓度之预先所制作的关系，调节硷浓度。又，显像液的调制装置具备有：调制槽；将显像液供给至显像程序之供给管；承接使用过的显像液之回收管；将新的显像液原液供给至调制槽之原液供给管；用来检测显像液的硷浓度及显像液中的碳酸盐浓度之浓度计；及依据特定的关系，控制显像液原液的供给之控制装置。