涂布装置及涂布方法

摘要

本发明的涂布装置1系从3个第1喷嘴141、以及在第1喷嘴141副扫描方向上的基板9相对移动方向后侧(以下简称「后侧」)之第2喷嘴142分别吐出的有机EL液与溶剂，在基板9的涂布区域91上条纹状涂布。而且，在经后侧第1喷嘴141所涂布的有机EL液线条之后侧区域中，藉由使经第2喷嘴142涂布的溶剂蒸发，而缩小该有机EL液线条二侧的溶剂成分浓度差。结果，可使从后侧第1喷嘴141所吐出的有机EL液的乾燥速度，在副扫描方向上形成大致均匀，可防止涂布不均发生。