物理气相沉积设备及其腔体防着组件

摘要

一种物理气相沉积设备包含一腔体及至少一腔体防着组件。其中，腔体防着组件系具有一防着板与一辅助元件，防着板系设置于腔体之至少一内表面，辅助元件系与防着板相连结，且防着板系位于腔体内表面与辅助元件之间。