发明名称 GAS LEAKAGE DETECTOR, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND METHOD INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100857235(B1) 申请公布日期 2008.09.05
申请号 KR20070016931 申请日期 2007.02.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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