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发明名称
Maskless optical interferometric lithography
摘要
申请公布号
AU2003212727(B2)
申请公布日期
2008.09.04
申请号
AU20030212727
申请日期
2003.03.25
申请人
IMPRENSA NACIONAL CASA DA MOEDA, S.A.;INSTITUTO NACIONAL DE ENGENHARIA E TECNOLOGIA INDUSTRIAL
发明人
ALEXANDRE PEREIRA CABRAL;JOSE MANUEL NUNES VICENTE REBORDAO
分类号
G03F7/20;G02B1/00
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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