膜厚量测方法及微波量测设备

摘要

本发明是关于一种膜厚量测方法及微波量测设备，该膜厚量测方法，是先提供一物体，再量测波长范围在微波段的一讯号从一量测点到达物体表面所需的时间t₀。然后，提供一待测物，其是经表面处理过的物体，其中物体表面具有一表面处理层物。之后，量测波长范围在微波段的讯号从量测点到达待测物表面所需的时间t₁，其中此处的讯号需与之前量测t₀所用的讯号波长一样。接着，利用讯号的波长λ与时间差(t₀-t₁)估算出物体的表面处理层物的膜厚d，其中估算公式为d＝λ(t₀-t₁)。由于本发明比通过讯号发射、反射及接收，并设定范围在短波高频的微波段来量测膜厚，所以可以轻易且精确测得较薄的膜厚。

主权项

1. 一种膜厚量测方法，其特征在于其包括以下步骤：提供一物体；量测波长范围在微波段的一讯号从一量测点到达该物体表面所需的时间t0；提供一待测物，该待测物是表面处理过的该物体，其中该物体具有一表面处理层物；量测波长范围在微波段的该讯号从该量测点到达该待测物表面所需的时间t1；以及利用该讯号的波长λ与时间差(t0-t1)估算出该物体的该表面处理层物的膜厚d，其中估算公式为d＝λ(t0-t1)。