发明名称 薄膜电阻器及其制造方法
摘要 集成电路(10)的一个实施例包括衬底(12)和在衬底上形成的SiWNi薄膜电阻器(16)。
申请公布号 CN101253631A 申请公布日期 2008.08.27
申请号 CN200680027467.9 申请日期 2006.07.25
申请人 特里奎恩特半导体公司 发明人 法比安·勒杜列斯库
分类号 H01L29/10(2006.01) 主分类号 H01L29/10(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 蔡胜有;刘继富
主权项 1.一种集成电路(10),包括:衬底(12);和在所述衬底上形成的SiWNi薄膜电阻器(16)。
地址 美国俄勒冈州