发明名称
摘要
申请公布号 JP4139739(B2) 申请公布日期 2008.08.27
申请号 JP20030155272 申请日期 2003.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/027;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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