发明名称 Halbleiteranordnung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要 Die Erfindung beschreibt eine Halbleiteranordnung und Verfahren zur Herstellung derselben, wobei die Halbleiteranordnung mit einer auf einem Substrat (1) angeordneten integrierten Schaltung (2) versehen ist, wobei die integrierte Schaltung (2) auf der Vorderseite des Substrats strukturiert ist und mindestens ein Kondensator (20) mit der integrierten Schaltung verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Kondensator auf der Rückseite des Substrats (1) als monolithische Tiefenstruktur mit mindestens einem Graben (3) ausgebildet ist.
申请公布号 DE102007009383(A1) 申请公布日期 2008.08.21
申请号 DE200710009383 申请日期 2007.02.20
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 MARENCO, NORMAN
分类号 H01L23/58;H01L21/822 主分类号 H01L23/58
代理机构 代理人
主权项
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